Kriteria guru, kepala, dan pengawas madrasah penerima tunjangan profesi adalah sebagai berikut:
1. Memenuhi kualifikasi akademik minimal S-1 atau D-IV;
2. Memiliki sertifikat pendidik yang telah diberi satu NRG yang diterbitkan oleh Kementerian Pendidikan dan Kebudayaan dan telah tercatat pada SIMPATIKA melalui format S26e. Setiap guru hanya memiliki satu NRG walaupun guru yang bersangkutan memiliki lebih dari satu sertifikat pendidik;
3. Memiliki hasil Penilaian Kinerja Guru (PKG), Penilaian Kinerja Kepala Madrasah (PKKM), dan Penilaian Kinerja Pengawas Madrasah (PKPM) minimal baik, dibuktikan dengan hasil penilaian kinerja tahun sebelumnya sesuai jabatannya;
4. Guru ASN yang mengajar pada madrasah yang diselenggarakan oleh pemerintah atau madrasah yang diselenggarakan oleh masyarakat dan telah memiliki izin operasional;
5. GBASN yang mengajar pada madrasah yang diselenggarakan oleh pemerintah;
6. GBASN yang mengajar pada madrasah yang diselenggarakan oleh masyarakat dan telah memiliki izin operasional;
7. Kepala madrasah yang aktif melaksanakan tugas pada madrasah yang diselenggarakan oleh pemerintah atau yang diselenggarakan oleh masyarakat dan telah memiliki izin operasional;
8. Pengawas madrasah penerima tunjangan profesi:
a. Masih aktif melaksanakan tugas pengawasan pada madrasah yang diselenggarakan oleh pemerintah atau madrasah yang diselenggarakan oleh masyarakat dan telah memiliki izin operasional;